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TTK-UVW對位平台
平台大小(mm)200 x 200 x 61最大行程(mm):&4螺桿導程(mm):2 動負荷(kg):20
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精密對位平台
平台大小(mm):550 x 550 最大行程(mm):10 螺桿導程(mm):2 反覆定位精度:E級 (10μm) H級 (6μm) P級 (2μm) -

UVW對位平台
平台大小(mm):450 x 450 最大行程(mm):10 螺桿導程(mm):2 反覆定位精度:E級 (10μm) H級 (6μm) P級 (2μm)